——记北京北仪创新真空技术有限责任公司

 

     

 

 

       北京北仪创新真空技术有限责任公司（以下简称北仪创新公司）是中国真空设备制造行业起步最早的重点骨干企业之一。公司历史可以追溯到清朝光绪年间的京师“权度制造所”，建国初期改名为“北京度量衡厂”，后经毛泽东主席批准，建立“中央度量衡厂”，1954年4月建成投产，1956年又更名为“北京仪器厂”，主要生产度量衡仪器、金属材料实验台，并正式进入真空领域。2002年改制更名为“北京北仪创新真空技术有限责任公司”。

       真空技术是建立低于大气压力的物理环境，以及在此环境中进行工艺制作、物理测量和科学试验等所需的技术。真空技术主要包括真空获得、真空测量、真空检漏和真空应用四个方面。在真空发展中，这四个方面是相互促进的。北仪创新公司产品主要包括真空获得、真空测量、真空应用3大类，30多个系列，160多个品种。其中真空获得产品主要包括用于获得从低真空到高真空的不同型号的真空泵类产品，如旋片泵、油扩散泵、罗茨泵及高真空无油分子泵等；真空测量产品主要包括用于测量低真空到高真空的测量仪表产品；真空应用产品主要包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射等镀膜机产品。产品服务范围广阔，覆盖电子信息、新材料、新能源、环保、生物工程等高新技术领域。

      在日趋激烈的市场竞争中，北仪创新公司始终把技术创新作为企业发展的最终动力。近年来，北仪创新公司更进一步立足真空，拓展新能源及节能技术领域，在2006年，率先研制成功了国内具有自主知识产权的所有整机设备国产化的非晶硅薄膜太阳电池生产线，打破了国外技术封锁，开启了国内非晶硅薄膜太阳电池行业自主发展的道路，先后获得了中国半导体创新产品和技术奖、中国机械工业科学技术奖、北京市自主创新产品等多个奖项。

      2010年，研制成功的HLD-8型团簇型八角等离子体增强化学气相沉积真空镀膜系统经中关村科技园区管理委员会、北京市发展和改革委员会、北京市科学技术委员会、北京市经济和信息化委员会、北京市财政局批准，成功认定为“2010年度中关村首台（套）重大技术装备示范项目”，奠定了国内薄膜光伏装备领域的领头地位。2012年，北仪创新公司更瞄准了探索国际领先水平的真空装备技术目标，先后实施了磁悬浮分子泵、高精度宽光谱光学薄膜膜厚在线监控系统、高性能/高稳定性系列化射频功率源及自动匹配器、高端真空镀膜用e形磁偏转电子枪及控制电源系统、高端智能化真空镀膜装备等行业关键技术研发工作，为北仪创新公司稳定国内真空行业领先地位，推动企业及全行业可持续高端发展，奠定了坚实的基础。

      在技术创新工作中，公司高度关注国际先进技术的发展。2003年与韩国优成公司合作成立北仪优成真空技术有限责任公司，生产高速旋片直联真空泵，获得用户的普遍赞誉。2013年，与北京航空航天大学合作“国家重大科学仪器示范项目”磁悬浮分子泵的开发与研制工作，这一项目将填补国内磁悬浮分子泵技术空白，将我国自主研发的高真空获得产品推向一个更新的高度。北仪创新公司主要承担大抽速涡轮动、定片设计及复合转子紧密加工与集成技术，进行大抽速磁悬浮分子泵的设计、加工、装配和协助调试等工作。

      经过北京航空航天大学前期对北仪创新公司分子泵技术研发能力和整体生产加工能力的调研考察后，最终确立为合作研发单位之一，双方成立了磁悬浮分子泵产学研联合研发中心和产业联盟。

目前，研发和试制工作正在紧张有序进行中。用于第一阶段实验研究的分子泵图纸设计已经完成，各部件正在加工中。

北仪创新公司的多个产品在国内领先地位，并有多项科研成果获得国家专利。

      回顾过去，1959年研制出我国第一台转速达2万/分钟的高速离心机、固体热量计、高压釜、氢气压缩机、电离真空计。1976年研制DMW—1350制镜镀膜机，以铝代银镀膜，为国内制镜工艺的改革作出大贡献。1995年XJPD-2200磁控溅射镀膜生产线获得国家级新产品奖；2006年自主研发制造国内第一条非晶硅太阳能光伏电池生产线等并获得国家知识产权局审批通过的多项专利。

北仪创新公司在“十二五”初期即确立了“立足于真空，拓展新能源、新技术应用领域“，形成具有自主知识产权的技术研发、装备制造、工艺应用，将企业打造成为国内领先、国际有较高知名度的现代化企业的发展战略目标。为此企业将在“高端智能化真空镀膜装备”　“工程化真空系统”　“各行业专用真空标准设备及仪器仪表”　“磁悬浮复合分子泵”　“污油泵、大抽速泵”　“小型、智能化仪器仪表”　“新能源及节能技术领域内的真空应用设备及系统”　等几个方向进行探索和发展。

纵观北仪创新公司的发展，企业的领先不仅反映在众多第一的创造，更为重要的是北仪创新公司敢于顽强探索自身所坚持的真空事业，顽强挑战一切阻碍自身真空事业发展的困难，这也正是北仪创新公司近60年来淀积的企业精神之魂。(徐晓伟)